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      硅片回收的切片、退火、倒角

      作者: 來源: 日期:2019/5/27 14:54:02 人氣:1645
      硅片回收是新能源回收利用由專業機構專業回收廢或過期原生多晶硅,125太陽能單晶電池片,156太陽能多晶片(整片,碎片),拋光片,頭尾料,半導體硅片,及稀有金屬硅片回收工藝流程具體介紹如下: 

      切片:將單晶硅棒切成具有精確幾何尺寸的薄硅片。此過程中產生的硅粉采用水淋,產生廢水和硅渣。 

      退火:雙工位熱氧化爐經氮氣吹掃后,用紅外加熱至300~500℃,硅片表面和氧氣發生反應,使硅片表面形成二氧化硅保護層。

      倒角:將退火的硅片進行修整成圓弧形,防止硅片邊緣破裂及晶格缺陷產生,增加磊晶層及光阻層的平坦度。此過程中產生的硅粉采用水淋,產生廢水和硅渣。
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